日本ryuki小型熱力流量計RM-155
質量流量計的基本配置包括熱質量流量傳感器，旁路層流量元件和橋式電路。電流流經纏繞在傳感器周圍的電阻器以產生熱量。當從進氣口進入的一部分氣體流入傳感器時，傳感器的溫度分布會發生變化，該溫度分布會被橋接電路捕獲并作為流量輸出信號取出。?
-尺寸緊湊，可進行高達60SLM類面積的流量測量。
?可以使用電源。
日本ryuki小型熱力流量計RM-155
| 測量流量范圍 （滿量程顯示） | 1SLM，2SLM，5SLM，10SLM 20SLM | （50SLM） |
|---|---|---|
| 流量單位 | SLM（0℃，1atm） | |
| 待測氣體 | 空氣，N2，O2 | |
| 流量精度 | FS±2％ | FS±3％ |
| 重現性 | 在±0.5％FS之內 | |
| 小工作壓差 | 65Pa-2kPa以上 | 3kPa-9.8kPa或更高 |
| 無法使用的壓力 | 980kPa（10kgf / cm2G） | |
| 耐壓 | 980kPa（10kgf / cm2G） | |
| 外部泄漏標準 | 1×10-7 Pa ? m3 /秒以下 | |
| 可用溫度 | 5至60°C（保證精度：15°C至35°C） | |
| 流量輸出信號 | 0-5VDC（輸出阻抗45Ω） | |
| 使用電源 | + 15V±0.5VDC 40mA -15V ±0.5VDC 10mA | |
| 主機連接端口 | Rc1 / 4 | |
| 氣體連接件質量 | SUS303，拜頓 | |
| 外形尺寸 | 59 x 26.6 x 65（毫米） | |
| 重量 | 350克 | |
