用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹

2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子

Eximer真空光源和準(zhǔn)分子真空靜電消除器

易于安裝到帶 ICF114 法蘭的真空室視口。
通過(guò)使用風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈的簡(jiǎn)單系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了低成本和高性能。 可以瞬時(shí)打開(kāi)和關(guān)閉。

特征

• 真空室等靜電問(wèn)題的對(duì)策

• 卷對(duì)卷薄膜抗靜電

• 晶圓等靜電卡盤(pán)的吸附和運(yùn)輸措施

• 防止因電氣化而吸附異物的對(duì)策

• 電子顯微鏡的靜電對(duì)策

• 通過(guò)帶電實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度，防止針孔

規(guī)范