什么是氦氣檢漏儀？
實際上，這種氦氣檢漏儀是一種真空裝置。
當氦氣從測試口（分析儀的連接口）流入時，氦氣被分析管（分析儀）檢測到。該分析管為磁偏轉質譜儀，分析管內部為真空。真空泵（渦輪分子泵、油旋轉真空泵、干式真空泵）用于抽空分析管內部。
磁場偏轉質譜儀的原理是離子源將所有流入分析管的氣體電離，電離后的氣體經磁場偏轉部分過濾，只選擇氦離子，然后送至離子收集板. 離子收集器板以電流形式測量氦離子。換句話說，它將氦氣量測量為電流。
家用空調、汽車空調和家用冰箱等使用制冷劑的設備使用氦氣檢漏儀進行氦氣泄漏檢測。
使用氦氣檢漏儀進行的氦氣檢漏被廣泛應用于滅火器、食品、電子零件、航空器、衛星等各個領域，被廣泛應用于產業領域。
該氦氣檢漏儀以電流形式測量氦氣量，但由于很難從電流值了解泄漏量，因此泄漏量以Pa m 3 / sec為單位表示。在我們的行業中，我們稱之為“Pascal-Lübe Parsec"。這意味著在單位時間（秒：秒）內移動的氣體量（絕對壓力（Pa：帕斯卡）x體積（m 3 ）） 。由于要檢測的泄漏量是一個極小的值，所以一般用E ( Exponentiation )表示，表示冪(如a x a x a = a 3 ) 。基于此符號的行業檢查級別如下：
各行業檢驗水平（參考）
| 泄漏 Q [Pa?m3/sec] | E-3 至 E-5 | E-5 至 E-7 | E-9 至 E-10 | E-11 至 E-12 |
| 主題 | 水管 煤氣管 | 空調 熱交換器 壓縮機 汽車配件 | 真空零件 | 核 空間相關 |
